技术编号：6116325
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种量测技术，且特别是有关于一种电子细分割装置及 其方法。背景技术近年来由于半导体产业与电子产业的兴起，精密定位量测产品大量应用 于半导体产业与电子产业的制程与测试设备中，随着制程技术的日益精进， 更小的线宽与更精密的制程技术不断的被开发出来，甚至缩小尺寸到奈米等级，致使精密定位量测技术也必须推陈出新。电子细分割(electronic interpolation)技术不断的被开发出来，它藉由分割传感器量得的周期弦波信号 而达到增进传感器的量测...
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