技术编号：6116326
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种位移传感器，其包括投光部和具有光圈(絞り)的受光部，以下述方式构成在调整上述投光部的光射出位置和上述光圈成为共轭的关系的同轴光学系统(被称为同轴共焦点方式的光学系统)的光轴上，沿该光轴配备可往复移动的透镜部，根据受光部的受光量信号取得极大值时的上述透镜的位置对测量对象物进行测量的位移。背景技术 这种位移传感器是利用以下原理若从投光部经由透镜部所射出的光在规定位置聚光，则在该聚光点反射的光在与投光路线相反的路径前进之后，在与光射出位置处于共轭的...
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