技术编号:6116419
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及包括多个使用探针卡对晶片等被检查体进行电气特性检查的检查装置的检查设备和检查方法,更详细地说,涉及在检查设备内、在检查装置和搬送台车之间辅助探针卡的移载操作的。背景技术 这种检查装置,例如,如图7所示,包括搬送被检查体(例如晶片)W的加载室1、和与加载室1相邻且对从加载室1接收的晶片W进行电气特性检查的探针室2。如该图所示,探针室2包括能够沿X、Y、Z和θ方向移动地配设并且载置晶片的载置台(晶片卡盘)3、在该晶片卡盘3的上方配置的带有卡支架的探针...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。