技术编号：6117374
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光波导的测量方法，尤其是一种通过测量干涉光谱求 出光波导净传输损耗的测量方法。本发明还涉及用于上述方法的测量装置。背景技术在集成光学领域中，光波导是构造集成光电子器件的基础，传输损耗 的大小直接关系到光电子器件的性能。因此，精确获知光波导的传输损耗 对于构造高质量的集成光学器件、提高微纳米加工的工艺水平具有极为重 要的作用。目前广泛采用的测量光波导传输损耗的方法是截断法(cut — back method),如图1所示。由于不同长度的光波导的...
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