技术编号:6117639
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于大量程表面形貌测量的二维位移传感器及应用的大量程表面形貌测量装置,属于测量装置。背景技术 在目前广泛使用的接触式表面形貌测量仪器中使用的位移传感器多为传统的一维位移传感器,它仅能测量垂直方向上的位移,不能探测到触针在水平方向上所遇到的阻力,在测量表面形貌时存在着一定的局限性。这个局限性主要体现在在大量程表面形貌测量中,这种一维位移传感器的测量触针遇到陡峭的轮廓表面时会由于水平方向的阻力太大而不能顺利划过轮廓表面,所以它不能测量台阶、沟槽和...
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