技术编号:6120738
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种光学成像系统及具有该光学成像系统的光学检测系统,尤其涉及一种通过模块化的组合设计达到高精度、多功能检测的光学成像系统及光学检测系统,其可以用于光学加工行业中的光学元件检验、半导体工业中的晶片检测、高等院校的科研和教学仪器、大平板显示的平面度检测等多种领域,并能够对物体表面的平面度、球面的平整度、弧形表面的曲率半径、直角棱镜的90°偏差、光楔角误差以及可透射材料材质均匀性等多种参数指标进行精确的检测。背景技术采用光学干涉原理进行检测,已广泛...
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