光学测厚器及使用它的装置与方法技术资料下载

技术编号:6121234

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本发明涉及表面测厚器。已知的机械测厚器一端与人们希望知道其位置的表面相接触。当 测厚器的远端和其对着的表面接触时,所述测厚器通过机械应力传感 器传输信号,所述信号表明测厚器抵在所述表面上。在标尺上阅读测 厚器的位置,可以获知其位置,且由此推导出所述表面的位置。尤其通过美国专利6713718与英国专利2337815,还已知无接触 光学测厚器,其能发射出光束且能根据所述表面反射的光束进行探测其是否位于距所述表面预定距离处。本发明的目的在于提供一种同样类型的光...
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