技术编号:6121250
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检査装置和检査方法及检査装置用传感器,不与 检査对象导体接触,可以检査该检査对象导体状态。背景技术当制造在衬底上形成有导体图案的电路衬底时,需要检查形成在 衬底上的导体图案是否有断线或短路。现有技术的导体图案的检查方法,如专利文件l所示,在导体图 案的两端近旁配置电极,从一端的插针对导体图案提供电信号,从另 外一端的插针接受其电信号,以接触方式的检査手法(插针接触方式) 用来进行导体图案的导通测试等。电信号的供电的进行是在全部端子设立金属探针...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。