技术编号:6121432
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及压力传感器的领域,具体地涉及介质隔离式绝对 压力传感器。背景技术在现代的汽车系统中,经常期望测量位置处的绝对压力。例如,期望测量EGR(废气回流)系统中的锐边孔上的压力,以确定流动。通常, 在这种情况下,介质可以非常粗糙。由于这种不利的环境,期望可以 从与介质隔离,文中的介质为废气,以确保通常基于半导体的传感器 能保持良好,并长时间内能合适地工作。绝对压力传感器通常被构成为传感器的内腔是真空的,并具有施 加到它们的顶侧的感应压力。该侧可以被识...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。