技术编号:6121516
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,尤其是涉及一种加速度计石英摆片残余应力的检测方法,属于检测。背景技术石英摆片是加速度计的重要元件,加工过程中造成的残余应力会降低其在外部载荷作用下的稳定性,引起不同程度的结构变形、开裂等不利因素,影响加速度计产品的性能。因此对石英摆片应力及其分布的检测尤为重要。加速度计石英摆片具有特定的结构形状,通常其为尺寸小于025mmXlmm的圆形薄片,而且具有不同尺寸的镂空图形。目前没有针对摆片的有效的无损应力检测手段,通常需对加速度计的参数进行长期测试...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。