技术编号:6121665
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种基板检查装置,其根据以电子束或离子束等带电粒 子束对基板进行二维扫描而获得的扫描图像,进行基板检查,特别是关于 基板上检查位置的指定。背景技术众所周知,根据以电子束或离子束等带电粒子束对基板进行二维扫描而取得的扫描图像,进行基板检查的基板检查装置。例如,在TFT显示装 置中所使用的TFT阵列基板的制程中,检查所制造的TFT阵列基板是否正 确驱动。该TFT阵列基板4企查中,例如藉由于使电子束在TFT阵列基板上 进行扫描而取得扫描图像,并根据该...
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