技术编号:6121693
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般地涉及传感器,且更具体地,本发明涉及惯性传感器。技术背景惯性传感器,如MEMS陀螺仪,常常在驱动频率受到旋转振动噪 声(其通常被称作"振摆")的不利影响。特别是,如果MEMS陀螺 仪不能够区分旋转振动和它们意图检测的实际运动的话,那么它们可 能产生错误的读数。另外,诸如陀螺仪的具有振动质块的MEMS器件的几何形状的变 形可能在与纵向驱动指成横向的力上产生不均衡。这种不均衡导致难 以与科里奧利力(Coriolis force)区分开的净力。因此,陀...
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