技术编号：6121745
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对物体表面进行光照射、检测其反射光来检査物体表面上的凸起或异物的 异物检査方法，具体来说，涉及硬盘底板或半导体用硅片等。背景技术近年来，作为代表性的磁盘装置的硬盘驱动器，由于其小型而且实现大容量，所以高 记录密度的趋势日益明显，记录道宽度为liim或以下。磁头为了对如此狭窄的记录道进 行正确的扫描，磁头的循迹伺服技术起到重要的作用。利用这种循迹伺服技术的现有硬盘 驱动器，按照一固定的角度间隔在盘片转动一圈的期间记录循迹用的伺服信号、地址信息 信号...
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