使用多层衬底结构的发光传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6122369

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本发明涉及例如发光生物传感器或发光化学传感器等的发光传 感器,其包括例如多层线栅的多层衬底结构,并且在例如线栅的所述 多层衬底结构的特定位置处提供结合位置。本发明还涉及一种用于制 造这样的发光传感器的方法。根据本发明的发光传感器显示出高灵敏 性。背景技术传感器广泛应用于测量物理属性或物理事件。例如,传感器输出 如电信号、光信号或声信号的测量的功能读数,并且可输出数字信号。 这样的信号是可通过其它装置转换成有用信息的数据。传感器的一个 特别的例子是生物传感器...
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