技术编号:6122944
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于具有第 一千涉仪和第二干涉仪的干涉测量的 测量装置的设备,其中通过辐射源向所述第 一干涉仪输送短相干的辐 射,所述辐射通过第一辐射分配器分为两个部分辐射,并且其中光程 长度在一个部分辐射中如此长于在另一个部分辐射中,使得光程差大 于所述辐射的相干长度,其中所述两个部分辐射在所述第一干涉仪的 出口之前再度汇合并且输送给所述第二干涉仪,该第二干涉仪将所述 辐射分为另外两个部分辐射,其中这两个部分辐射的光程长度如此不 同,从而再度对在第一干涉仪...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。