技术编号:6123002
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于减小的滞后和蠕变的声波传感器封装实施例通常涉及感测设备及其部件。实施例还涉及声波设备。实施例尤其涉及表面声波(SAW)设备。实施例还涉及转矩传感器。技术背景声波传感器用在各种感测应用中,诸如,例如温度和/或压力感测 设备和系统。声波设备已经在商业上使用了六十年以上。虽然电信产 业是声波设备的最大用户,但是它们还用在用于传感器应用的其他领 域中,例如化学蒸汽检测。如此命名声波传感器是因为它们使用机械 波或声波作为感测机制。当声波在材料表面上或穿过材料表面...
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