技术编号:6123848
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可偏转微机械系统,其中能够确定至少一个可偏转 元件的各个偏转。这能够以平移式偏转和/或绕这种元件的至少一个轴 以旋转的方式偏转来确定。因而能够确定可偏转元件的各个位置坐标或 各个偏转角度。通过能以这种方式确定的值能够确定其它测量值或者能 够有效地影响系统,尤其是元件的偏转。例如,可偏转元件可为光学元 件,尤其是反射元件,但是也可为弹性可变形元件,尤其是膜。背景技术偏转可以是振动(能够以振动的方式进行)并且也能够在观察共振 情况下同时进行。在最...
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