容性体声波盘状陀螺仪的制作方法技术资料下载

技术编号:6123989

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陀螺仪是用于测量旋转速度或角度的传感器。微机械陀螺仪构成微型 传感器市场中增长最快的部分之一。这些装置的应用领域从汽车很快扩展 到航天、消费者应用以及个人导航系统。在汽车领域中具有许多应用,其 中包括短距离导航、防滑系统和安全系统、侧滑检测、下一代安全气嚢和 防锁死制动系统。消费者电子设备应用包括在数字照相机中的图像稳定 性、手持装置的灵巧的用户界面、游戏装置以及惯性点击装置。 一些应用需要单轴陀螺仪(Z轴),而一些应用需要多轴旋转检测(关于X以及Y 和/...
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