技术编号：6124798
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种利用多普勒仪测振系统，基于微梁结构固有频率变化的测试方法，属于微电子机械系统可靠性测试的。背景技术 可靠性研究是工业化过程中的一个不可缺少的环节，可靠性的很多方面也已经得到了很好的研究。然而由于MEMS器件在加工和使用过程中常常发生粘附失效，近年来得到了越来越多的关注。关于MEMS器件中微梁结构粘附可靠性的分析及测试方法，通常是由扫描电镜(SEM)，以一定倾角来观测梁的弯曲，以此判断微梁是否与衬底接触。这样的测试存在一定的局限性，其一，由于视觉...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。