双材料微梁光学读出温度传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:6124803

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本发明涉及一种用于探测环境温度的传感元件,尤其涉及一种基于微悬臂梁的光学读出温度传感器。背景技术 温度传感器根据工作方式的不同可分为两个大类接触型和非接触型。接触型温度传感器中,常用的有热电偶、热电阻。非接触型温度传感器最常见的是红外温度传感器。热电偶有着广泛的使用。热电偶是根据热电势效应制成,两根不同材料的金属导线一端焊接在一起为工作端,未焊接的一端为自由端,两根导线称为电极。使用时将工作端置于待测温度场中,自由端接入仪表以测其电势,并使其温度恒定。热电...
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