技术编号:6124931
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光谱测量仪,尤其是特别涉及一种基于微电子机械系统技术(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)的微型光谱仪。背景技术 光谱学是测量紫外、可见、近红外和红外波段光强度的一种技术,被广泛应用于多种领域,如颜色测量、化学成份的浓度检测或电磁辐射分析等。传统光谱测量仪由众多光学、电学与机械等分立器件组成,需要极其复杂的光路系统与精密机械结构,降低了整个仪器的可靠性,对仪器工作、存放环境也有着严格的要求,限制了对其更加...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。