技术编号:6125488
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种石英玻璃上纳米沟道的制作方法,属于微细加工。背景技术 微全分析系统(micro total analytical system,μTAS)又称芯片实验室(Lab-on-a-chip)是在上世纪90年代由Manz et al.提出的概念,是将微机电技术(micro-electromechanical systems,MEMS)和分析化学检测相结合,把生物和化学等领域中所涉及的样品制备、生物与化学反应、分离、检测等基本操作单元集成或基本集成到一块...
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