技术编号:6125602
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学电子器件领域,具体涉及一种。背景技术 椭偏仪是一种测量样品物理常数的精密光学仪器。它通过测量被测样品反射(或透射)光线的偏振状态的变化情况来研究样品的特性,特别适用于测量薄膜的厚度、折射率和消光系数。椭偏仪根据操作方式分为消光式和光度式。消光式椭偏仪测量精度较高,缺点是测量速度较慢;光度式椭偏仪大都采用旋转检偏器PSA结构,测量速度快,缺点是测量精度较低,一次测量不能确定椭偏旋向。两种类型椭偏仪适用于不同工作场合。国外曾报道一种消光/光度兼容...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。