技术编号：6125722
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种带锁止功能的阈值可调加速度开关传感器及制作方法， 更确切的说， 一种基于机电耦合原理设计的，具有可调阈值和锁止功能的硅基微机械(MEMS)加速度开关，特别是涉及一种集成电子加速度阈值开关。 背景技术一般来说，加速度计是利用检测质量块或振动块来测量加速度。外部加 速度对质量块发生作用，然后通过测量质量块的位移、质量块对框架的作用 力或保持位置其不变所需的力(对后者，即有源加速度计，需要有一个闭环 控制系统)来得出加速度值。直接或间接地从作用在...
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