技术编号：6125862
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种柔性MEMS温度传感器的制作方法，属于制造微机电系统(MEMS)领域。背景技术 随着微加工技术的不断发展，传统硅基MEMS传感器由于衬底比较硬，已不足以满足诸如可佩戴电子器件、可折叠电子器件、机器人传感系统和智能皮肤等要求柔性结构器件的日益增长的应用需求，因此在柔性衬底上制作MEMS器件的技术越来越引起学者们的关注。由于聚酰亚胺(PI)具有独特而优异的综合性能而被选为理想的柔性衬底材料。其电热隔离性能好，机械强度高、抗化学腐蚀性能强，高温稳定...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。