技术编号:6126929
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种在传输线路中检测电压电流的传感器。技术背景目前,在半导体产品的制造过程中,常常要用到等离子体来完成半导体晶圆的刻蚀过程,其中的等离子体一般是通过射频RF电源向等离子腔体供电而产生的,常用的射频电源的工 作频率为13.56MHz,输出阻抗为50Q,通过特征阻抗为50Q的同轴电缆与反应腔室相连。 在半导体晶圆的刻蚀过程中,反应腔室内的气体成分以及压力都在不断变化,因此,作为负 载的等离子的阻抗也在不断的变化,而射频电源的内阻为...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。