技术编号:6127026
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微电子机械系统(MEMS)和微惯性测量,特别是一种硅微动调混合陀螺仪的闭环检测控制装置及其应用方法。背景技术陀螺仪发展过程大致经过框架式陀螺仪、液浮和气浮陀螺、动力调谐陀螺仪、静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺和振动陀螺(硅微机械陀螺仪)等。动力调谐陀螺仪由于精度较高,零偏稳定性在0. 001° Γ/h,成为国内目前最主要的陀螺仪之一,应用领域达到80%左右,但由于其结构、材料和加工特性直接造成了它抗冲击性能较差、启动时间较长和成本较高,尤其是其相...
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