技术编号：6127101
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微纳米测量领域，更具体地说特别是涉及一种应用在纳米三坐标测量机中的高精度大量程三维微纳米接触扫描探头。背景技术随着微纳加工技术的发展，尺寸介于毫米和微米之间的微型器件相继问世，如微透镜、微齿轮、微芯片、燃油喷油嘴等；微器件的形状日趋复杂，允许的尺寸公差越来越小， 因此在实践中迫切需要具有纳米级测量精度的三坐标测量机。纳米三坐标测量机主要由具有纳米定位测量功能的三维运动平台和具有感测功能的探头两部分组成。探头分接触式和非接触式两种，接触式探头可...
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