技术编号:6127393
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子信息领域,尤其涉及。背景技术测控技术的发展,要求压力传感器量程越来越小,分辨率越来越高,使得 超微压压力传感器在科学实验、工业自动化控制、空气动力学、计量学等领域 越来越重要。如科学实验中的高分辨率的测试,空气动力学研究中飞机、导弹、 运动机械的动态特性研究和高层建筑楼宇风洞设计等,工控中新型热工锅炉的 二次进风系统、空调、超净过滤系统、煤矿瓦斯监控系统等,计量市场的石油 天然气、液化气计量等,都需要量程在数百帕的高精度的超微压压力传感器, ...
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