技术编号：6127677
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电系统器件，尤其涉及一种微机电压力传感器。 背景技术基于硅基片的孩支才几电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS ) 器件，如微机电压力传感器已经有近20年的研究历史，由于其良好的性能及 易于批量生产等优点，可望逐步在移动通讯、多媒体系统、消费电子和助听 器等方面替代传统的驻极体麦克风(Electret Condenser Microphone, ECM )。目前的微机电压力传感器一般包括两个部...
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