适合于批量生产红外传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:6127839

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本发明涉及一种制造测辐射热仪型非冷却红外传感器的方法,该方法通过吸收入射的红外线光来改变其入射光部分的温度以便通过温度的改变来改变电阻器的电阻值,由此输出表示红外辐射强度的信号。背景技术 测辐射热仪利用了金属或与半导体材料热绝缘的半导体薄膜的电阻值的温度变化。通常,随着测辐射热仪材料(即金属或半导体薄膜材料)的电阻的温度系数(以下称为“TCR”)升高,测试灵敏度得到改进,且代表红外传感器的温度分辨率的噪声等效温差(以下称为“NETD”)得到降低。例如镍-铁...
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