技术编号:6127939
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光纤传感,特别是涉及一种光纤法珀(FP)传感器及其制造方法。背景技术近年来,随着生物、医学、能源、环境、航天航空、军事等领域的快速发展,对传感器的微型化、轻量化、低能耗、耐恶劣环境能力等提出了非常迫切的要求,微纳传感器已成为国际上的重大科技前沿热点之一。激光微加工技术的迅猛发展为研究新一代微纳光纤传感器件提供了新的技术手段,因此如何应用激光等现代微纳米加工技术在光纤上实现各种微纳功能性传感器件是未来光纤传感器发展的重要趋势,也是传感器大领域中的一...
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