技术编号:6128172
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微小位移干涉测量仪,特别是涉及到使用正弦相位调制的半导体激光微位移实时干涉测量仪。向作为光源1的半导体激光器注入电流后,其强度和波长分别为g(t)=β1[io+Δi(t)], (1)λ(t)=λo+β2Δi(t), (2)io与Δi(t)分别为驱动电流的直流和交流分量,β1、β2为比例常数,λo为对应于直流分量io的中心波长。交流分量Δi(t)=acos(ωct+θ) (3)接收元件6检测到的干涉信号为I(t)=Io(t)+so(t)cos[z...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。