技术编号：6128193
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及微机械共振器的设计，更具体地涉及微电机系统(MEMS)共振器的设计。本发明的目的是提供一种该微电机系统(MEMS)技术的改进的共振器结构，其具有适合在苛刻的条件下、尤其在小规模的应用中以可靠的方式使用的结构。背景技术共振器是各种时序及频率基准应用中的关键器件。共振器被致动，以接近其自然、特征共振频率振荡，该共振频率由该共振器或者具有此功能的类似器件的材料、形状及/或特征尺寸所决定。为了用于基准及时序功能，该操作频率的精确的可控制性/可设置性是...
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