技术编号：6128263
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件的可靠性测试的方法和装置。 背景技术可靠性(Reliability)可以简单描述为产品在正常使用条件下，能顺利工 作的使用寿命(Lifetime),对半导体器件(例如MOS器件)进行可靠性测试是 半导体集成电路的制造过程中的重要组成部分。为了在短时间内测得半导体 器件的可靠性，通常会使用加速测试实验，即对半导体器件施加加速其性能 退化(degrade)的应力条件(stress,是指比正常工作条件高的环境温度、湿 度、电压、电流、压力等)...
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