技术编号:6128414
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及传感器领域,尤其涉及一种灵敏大信号输出微型压力传感器。 背景技术 随着科技的发展,在传感器领域中,需要采集处理的信号越来越微弱,已经达了纳米级,这些信号容易被噪声淹没且不易检测。同时传感器的尺寸也随之不断减小,目前微弱信号传感器的尺寸已突破100nm向40nm尺寸进军,如果继续减小,传感器的尺寸将接近电子的德布罗意波长,量子效应将变得更加显著,尺寸小于10nm就会出现一些如库仑阻塞等新的特点;另一方面处理电路也越来越复杂,一般传感器输出信号...
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