技术编号：6128459
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是一种高精度信号细分系统，应用于双频激光干涉仪中，可广泛用于超大规模集成电路加工设备、精密机械加工设备等的在线位移测量、误差修正和控制等方面。背景技术 双频激光干涉仪是工业中最具权威的长度测量仪器，被广泛应用于各种精密设备的在线位移测量和控制，是超大规模集成电路加工设备与精密机械工业不可或缺的关键测量工具。但若不对双频激光干涉仪输出信号进行细分处理，则最终测量精度只可达到激光光源波长的二分之一，在许多场合达不到分辨率要求，特别是在超大规模集成电路加工...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。