技术编号:6128671
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测角速度的小型传感器。背景技术 作为实现角速度传感器(陀螺传感器)的技术,近几年,在MEMS(微机电系统)的领域中,以硅基板等为材料,使用半导体制造技术来制造能够大量生产的小型加速度传感器的研究正在盛行。上述技术中的主流技术叫做振动陀螺,即,将测定角速度的旋转轴方向作为第1轴时,使振子在垂直于第1轴的第2轴方向上振动(驱动振动),检测出与角速度成比例、垂直于第1轴和第2轴的第3轴方向上发生的科氏力所引起的振动(检测振动)。由于上述检测振动非常小...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。