技术编号：6128825
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检査形成在基板上的膜的膜厚不均的技术、以及用于该 膜厚不均的检査中的图像显示的技术。背景技术到目前为止，在显示装置用的玻璃基板等(以下，简单称为"基板") 的主面上形成规定的图案时，在基板的主面上涂敷抗蚀液的同时使旋转基板，从而形成抗蚀膜，而且，在JP特开2006-49630号公报中提出了这样的 技术，S卩，取得由旋转涂敷机刚涂敷抗蚀液之后的基板图像，从而检査在基 板主面上的涂敷不均。另外，在JP特开平7-301608号公报(文献l)中公开了...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。