技术编号:6128827
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。实施例涉及电阻式温度检测器(RTD)、流量传感器和传感器系统。实施例还涉及半导体加工。实施例另外涉及在RTD中使用磁阻材料和惠斯通电桥。背景技术 流体流动的测量在制造业、医学、环境监测和其它领域中是重要的。一种类型的流量传感器测量流过加热器的流体的温度的上升。较小的温度上升对应于较快的流动。气体和液体都是流体,并且可以通过包括温度传感器和加热器的流量传感器来测量它们的流动速度。RTD是由基于温度的变化显示出电阻变化的诸如铂之类的材料制成的传感器。当前的技术...
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