技术编号：6128940
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测晶片等被检测体的电特性的探针卡。背景技术 通常使用具有探针卡的检测装置对例如形成在半导体晶片上的IC、LSI等电子电路的电特性进行检测。探针卡一般具有与晶片上的多个电极接触的多个探针和向该各个探针发送检测用电信号的电路基板，通过在各个探针与晶片的各个电极接触的状态下从电路基板向各个探针发送电信号来检测晶片上的电子电路。可是，近年来随着被检测的电子电路的微细化的发展，晶片上的电子电路的电极间的间隔变窄到几十～100μm的程度。与此相应，需要使探...
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