技术编号:6128957
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种,特别是指一种通过一固定环与固定件的设计,而其使与测试针的末端形成一微带线关系(micro strip line)的探针卡结构及其组合装配方法,其结构简单、成本低,适用于测量高频宽讯号的探针卡片使用。 背景技术 在半导体厂中,当晶圆已进行完所有制程时,通常都会进行晶圆的电性测试(wafer testing;WAT),以确认所述的晶圆产品的电性是否正常;而一般对晶圆执行电性测试时,会通过一探针卡(probe card)来做为测量介面,以确...
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