技术编号：6128958
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于测试半导体晶片的探测器，更具体地说，涉及能够提高吞吐量(throughput)的探测器控制方法和控制程序。 背景技术图4是日本未审査专利公开No.平4(1992)-354345中所公开的框图。 晶片103中的小片(pellet)(芯片，chip)的电特性由半导体测试设备101 测量，当对一个晶片的所有测试完成时，控制设备105从探测设备102读 取晶片103的成品率(yield)，成品率少于规定标准的晶片的数目由计数 器107来计数。当计数达...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。