技术编号:6128962
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有例如加速度传感器、角速度传感器、振子、机械滤波器等功能的微型机电系统元件(MEMS ( Micro Electro Mechanical Systems)元件)及其制造技术,涉及^皮气密密封并与外 部进行电信号交换的MEMS元件及其制造技术。背景技术图41表示以往的MEMS元件的密封技术和电极取出技术的一 例。在该技术中,在衬底上形成有MEMS结构部501、梁502、电 极支承部503以及包围MEMS结构部501形成的外周壁504。在其 上下...
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