技术编号:6129963
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及为检测流过车载用内燃机的吸气通路等通路的空气等流 体的流量,而具备在基板上形成有作为检测部的发热电阻体的传感器元件 的热式流量传感器,尤其涉及实现了流量测定精度的提高的热式流量传感 器。背景技术作为检测在汽车等上搭载的内燃机的吸入空气量的流量传感器,能够 直接测定质量流量的热式的空气流量传感器为主流。近年来,提出了在硅(Si)等半导体基板上使用微机械(micro machine) 技术制造热式流量传感器的传感器元件的方案。此种半导体型的热式流量 ...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。