技术编号：6129976
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对在线微电子机械系统MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)磁性能进行测试的方法及这种方法所用的相关结构，特别是对薄膜磁学 性能测量的方法，如对MEMS的磁导率、磁化强度和矫顽力等的测量。技术背景在设计、制造MEMS器件如微机械传感器和微执行器中，薄膜是很重要的 构件。磁性MEMS器件，作为MEMS器件发展的一个重要方向，有着广泛的应 用前景。而薄膜材料的磁学特性对这些器件的性能有很大的影响，有些器件如 高...
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