技术编号：6129994
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精确测量仪，尤其涉及在坐标测量仪中使用的多范围非接触探针(multi-range non-contact probe )。背景技术在一种坐标测量仪中，使用探针扫描工件表面。扫描后提供工件的三维 轮廓。在一种扫描探针(probe)中，通过使探头(probe head)的机械触头接 触工件表面的各个点来直接测量工件。在一些情况下，机械触头是球状物。在另一种坐标测量仪中，使用不与表面发生物理接触来测量工件的"非 接触，，光学探针。某一光学探针利用光点(...
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