压阻式高g值加速度计的制作方法技术资料下载

技术编号:6130044

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本发明涉及微机械电子,具体是一种压阻式高g值加速度计。技术背景加速度计广泛应用于航空、电子、汽车和机械领域的振动和冲击测量。随着微机电MEMS产业的兴起,加速度计逐渐向微型化、集成化方向发展。由 于微加速度计具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、易批量生产等优点,因 此具有广泛的军事和民用前景。其中压阻式加速度计由于具有线性度好、外围 电路简单、抗过载能力强等优点而广泛应用于冲击环境的加速度测量。而基于 不同冲击环境的测量需求,压阻式加速度计中的高g值加速度...
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