技术编号：6131000
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于探针卡(probe card)等连接电气信号用的坐标变换装置，尤其是有 关于有效从测头，布线至探针卡电路板的连接电气信号用坐标变换装置。背景技术在LSI等电子设备制程上，是将探针卡用于半导体晶圆上所形成的数个半导体芯片回 路检查上； 一般而言，无论半导体组件种类为何，此探针卡系包含由共通设计的印刷电 路板所构成的主机板、及无论半导体种类为何，以共通设计所配置而成，并连接于试验 器的端子针(terminal pin)、及因应半导体种类所配置的探...
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