技术编号:6133398
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学,涉及短波段光学领域中消像散成像、定向角不变、抑制高级次光谱的掠入射凹面光栅单色器系统。在短波段领域,要获得50nm以下的真空紫外及软X线光谱,需要掠入射单色器,最常用的是采用工作于罗兰圆上掠入射凹面光栅单色器,它的入缝、出缝和凹面光栅顶点处于一个以凹面光栅曲率半径为直径的园上,这时可在子午面上获得良好的象质,而弧矢面上成像确有较大的离散,这种系统的缺点是像散极为严重。本发明的目的是在短波波段获得一种消像散的单色器。本发明的详细内容附图说明图...
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